Thiết kế linh kiện bán dẫn MEMS chuyển đổi năng lượng cơ thành năng lượng điện

Abstract

Trong thập kỷ qua, công nghệ thu hoạch năng lượng đã ngày càng phát triển do việc giảm mức tiêu thụ điện năng của các thành phần điện tử như các nodes cảm biến không dây. Thu năng lượng dựa trên rung động chuyển đổi động năng có sẵn xung quanh dưới dạng rung động cấu trúc hoặc máy móc, chuyển động của con người và dòng chảy thành điện năng. Đây có thể là một giải pháp thay thế đầy hứa hẹn để giảm chi phí bảo trì và chất thải hóa học của pin và cuối cùng đạt được các thiết bị điện tử tự cung cấp năng lượng và các nodes cảm biến không dây. Các cơ chế truyền năng lượng (ETM) như piezoelectric, electromagnetic và electrostatic được kết hợp trong hệ thống để tối đa hóa năng lượng kết hợp từ môi trường xung quanh. Nguyên tắc làm việc của chuyển đổi năng lượng piezoelectric được giới thiệu. Các máy thu năng lượng piezoelectric dựa trên các MEMS điển hình sẽ được xem xét..Mô hình một giá vi cơ cơ bản sẽ được sử đụng dể đo lường thông số tối ưu.