Vui lòng dùng định danh này để trích dẫn hoặc liên kết đến tài liệu này:
https://elib.vku.udn.vn/handle/123456789/6021| Nhan đề: | Fabrication Engineering at the Micro and Nanoscale (Third Edition) |
| Tác giả: | Stephen, A. Campbell |
| Từ khoá: | Fabrication Engineering Micro Nanoscale |
| Năm xuất bản: | 2008 |
| Nhà xuất bản: | Oxford University Press |
| Mô tả: | pp: 825. |
| Định danh: | https://elib.vku.udn.vn/handle/123456789/6021 |
| ISBN: | 978-0-19-532017-6 |
| Bộ sưu tập: | Vi mạch bán dẫn |
Khi sử dụng các tài liệu trong Thư viện số phải tuân thủ Luật bản quyền.